你見過硅片清洗機(jī)嗎?它是怎么工作的呢?

當(dāng)一片晶圓被切割成很多小的硅片之后,，會被放入這個轉(zhuǎn)盤上,。然后通過真空吸盤固定住,，接著就進(jìn)入清洗腔體,。

這里會噴射出超純水和三氯氫硅氣體混合物,，對硅片進(jìn)行全方位無死角的沖洗,，以此來去除表面的雜質(zhì),、金屬離子以及有機(jī)污染物等,，以達(dá)到一個清潔的效果,，為下一步的刻蝕做準(zhǔn)備。

整個過程非?？?，只需要幾秒鐘就能完成清洗，效率非常高。而且它還能通過視覺系統(tǒng)檢測硅片是否清洗干凈,，如果發(fā)現(xiàn)不合格就會重新洗一遍,。

清洗完后，再通過傳送帶輸送到下一工序中,。不得不說,，這玩意真是科技與狠活啊!