概述：

本機控制模式：手動控制模式,、自動控制模式。

主要特點：

清洗規(guī)格：

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手動方式實現(xiàn)放件,，取件,，槽體間傳送件,；腐蝕工藝自動補藥液，保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性,。

（溫度,，時間，DIW水清洗模式,、時間可調）手動由觸摸屏界面可設定,。

藥液供給及補液方式：分體式CDS自動供夜系統(tǒng)；DI槽配有在線式水質檢測裝置,；配有分體式廢液回收系統(tǒng),。