概述：

該設(shè)備用于晶圓片擴散,、蒸發(fā),、CAV生產(chǎn)前的清洗處理,。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗,、膽堿清洗,、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）,、純水清洗,。其工藝性能指標及可靠性完全達到進口同類設(shè)備水平，但價格,、售后服務,、備品備件的供給等是進口設(shè)備無法比擬的。

主要特點：

采用進口PP板制作,。

適用2-6寸硅片清洗,。

超聲功率強勁，性能穩(wěn)定,。